Wasserstoffperoxid in Elektronikqualität
1. Wasserstoffperoxid in Elektronikqualität
Wasserstoffperoxid findet Anwendung in der Halbleiterindustrie. Statistiken zufolge entfallen 10–15 % des gesamten Verbrauchs an hochreinen Reagenzien in der Halbleiterindustrie auf hochreines Wasserstoffperoxid. Es ist außerdem ein wichtiger Rohstoff für Caprolactam.
Nahezu die gesamte Wasserstoffperoxidproduktion im In- und Ausland erfolgt mittels des Hydrazinverfahrens, weshalb Wasserstoffperoxid stets geringe Mengen Hydrazin enthält. Beispielsweise steigt bei der Caprolactam-Herstellung der Terpenoidgehalt mit dem Anlagenbetrieb an, und der TOC-Wert liegt üblicherweise bei 300 ppm, was indirekt die Qualität des Caprolactams beeinträchtigt.
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2. Reinigung von Wasserstoffperoxid
Die Reinigung von Wasserstoffperoxid dient hauptsächlich dazu, den organischen Kohlenstoff im Wasserstoffperoxid zu entfernen.
Die starke Oxidationswirkung und Instabilität von Wasserstoffperoxid haben viele gängige Reinigungsverfahren eingeschränkt. Die Verwendung von
Adsorption an makroporösem Harz
Es hat viele Vorteile, wie zum Beispiel eine hohe Adsorptionskapazität, muss aber dennoch die Anforderungen an die Oxidationsbeständigkeit erfüllen.
Sonnenharz
hat ein Spezialharz für Wasserstoffperoxid mit stabiler Oxidationsbeständigkeit und hoher Adsorptionskapazität entwickelt. Der Bedarf an Wasserstoffperoxid in Elektronikqualität kann mit einem TOC-Wert von unter 10 ppb gedeckt werden.
3. Adsorptionslinie zur Reinigung von Wasserstoffperoxid durch Sunresin
Aufgrund der Oxidation, Korrosion und Flüchtigkeit von Wasserstoffperoxid reichen herkömmliche Ionenaustauschersäulen nicht mehr aus. Sunresin hat daher eine Spezialanlage zur Reinigung von Wasserstoffperoxid entwickelt. Die Anlage besteht aus Spezialmaterialien, ist einfach aufgebaut und zeichnet sich durch Sicherheit und Zuverlässigkeit aus. Ein Drucksensor passt den Druck automatisch an und minimiert so die Explosionsgefahr durch Druckschwankungen.
In unserem Herbst lieferte Sunresin eine komplette Linie von Adsorptionsanlagen inklusive des Spezialharzes und der dazugehörigen Ausrüstung und konzentrierte sich dabei auf alle Probleme im Betriebsablauf des Projekts, damit die Produktionslinie schnell in Betrieb genommen werden konnte.
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